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YS/T 1164-2016 硅材料用高純石英制品中雜質含量的測定 電感耦合等離子體發射光譜法

標準編號:YS/T 1164-2016
標準名稱:硅材料用高純石英制品中雜質含量的測定 電感耦合等離子體發射光譜法
英文名稱:Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material. Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
發布部門:工業和信息化部
起草單位:亞洲硅業(青海)有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、洛陽中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司
標準狀態:現行
發布日期:2016-07-11
實施日期:2017-01-01
標準格式:PDF
內容簡介
本標準規定了多晶硅用高純石英制品中鋁、鈣、鉀、鈉、銅、鎂、磷、砷、鋅、鎳、硼含量的測定方法。
本標準適用于多晶硅用高純石英制品中鋁、鈣、鉀、鈉、銅、鎂、磷、砷、鋅、鎳、硼含量的測定。
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